chargement

Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

éditeur : Hermes Science Publications
catégories : Arts et patrimoine > Architecture, Techniques et informatique, Sciences et médecine > Sciences
date de publication :
délai de livraison : Immédiat (à partir de la date de publication)

PDF

Digital watermarking
105,00 €
Lecture multi-support

Résumé

Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm

Lire la suite...

Commentaires des lecteurs

9782746227071
- / 5
  5
  4
  3
  2
  1

Informations

Titre Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces
Auteurs , , , , , , ,
Editeur Hermes Science Publications
Collection Microsystèmes
Langue FR
Date de publication 12/05/2004
Nombre de pages 326

Droits numériques

Ean PDF 9782746227071
Type de protection Digital watermarking
Ean papier 9782746208179
Haut